| 過程檢驗(yàn)

1）采用原子力顯微鏡（AFM）對電拋后的基帶、隔離層的表面粗糙度進(jìn)行檢驗(yàn)。

2）采用X射線衍射儀對涂層的物相、結(jié)晶情況及薄膜面內(nèi)面外織構(gòu)度、薄膜應(yīng)力情況等進(jìn)行測定，以保證生產(chǎn)中各層薄膜質(zhì)量符合制備工藝要求。

3）采用掃描電子顯微鏡（SEM）對各涂層的表面形貌和分切切口進(jìn)行觀察。

4）采用探針式輪廓儀對各涂層的厚度進(jìn)行檢測。

從左至右分別為AFM、XRD、SEM、探針式輪廓儀

| 出廠檢驗(yàn)

1）采用MCorder高溫超導(dǎo)帶材臨界電流均勻性測試系統(tǒng)對超導(dǎo)長帶的電流均勻性進(jìn)行測定。

2）采用PPMS綜合物性測量系統(tǒng)對長帶端樣進(jìn)行低溫高場性能測試，4.2K 0-6T（全檢）4.2K 0-12T（抽檢）。

3）分別用倒帶機(jī)、千分尺、游標(biāo)卡尺對帶材的幾何尺寸（長度、厚度、寬度）進(jìn)行測量。

MCorder高溫超導(dǎo)帶材臨界電流均勻性測試系統(tǒng)